Nanusens众筹100万欧元利用标准CMOS工艺制造纳米传感器-(XINWEN)

据麦姆斯咨询报道，纳米技术的初创企业Nanusens，日前将其总部从西班牙巴塞罗那迁至英国，并通过Crowdcube（英国最大股权众筹平台）从786人处众筹超过100万欧元（941,950英镑）资金。

此次众筹是Nanusens的pre-A轮融资，用于帮助公司加大研发投资和扩大员工规模，加速产品推广。

“公司最初的众筹目标是40万英镑，我们已经被那些有兴趣投资我们新技术的人包围了。”Nanusens的首席执行官Josep Montanya i Silvestre博士说，“但这些投资者大多数都来自英国并精通技术研究，他们希望通过使用英国企业投资计划（EIS，一项鼓励对英国公司进行投资的计划）来进行投资。为了符合EIS投资条件，我们将公司总部从巴塞罗那迁到了英国。历经几个月才得到EIS认可，这期间我们一直保持Crowdcube开放状态，直到公司获得正式批准，我们获得的投资比预期增加了一倍多。”

Nanusens的技术简化了产品生产。到目前为止，传感器都无法与标准CMOS生产线兼容，需要使用不同的工艺来生产MEMS产品。

Nanousens的多项未申请的专利技术使其能够采用与其他芯片通用的标准CMOS工艺来制造纳米传感器。

这种创新技术大大降低了传感器的尺寸和成本，并将产品上市时间缩短了85%。Nanusens相信，其颠覆性技术将彻底改变传感器市场，满足智能手机、可穿戴技术和物联网设备对低成本传感器日益增长的需求，这已经使传感器市场成为了价值数十亿美元的产业。

在Nanusens的工艺中，使用HF蒸汽（vHF）在钝化层的焊盘（pad）开口区刻蚀出金属层间介电质（IMD），以获得纳米传感器的传感结构。然后将通孔密封，根据需要对芯片进行封装。

由于该公司传感器仅采用了标准的CMOS工艺，并且能够直接和所需要的有源电路集成，因此，其传感器能够获得和CMOS器件一样的高良率。

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